湿法刻蚀有几个关键指标,刻蚀速率,选择比,方向性。针对刻蚀的最终要求,图形转移时的保真度,选择比,均匀性和刻蚀的清洁。
湿法刻蚀的刻蚀剂均为强酸、强碱等具有强腐蚀性的溶液,在选择过滤器时需要严苛验证过滤材质的耐腐蚀性和化学兼容性。
实际应用案例中,以PTFE+PFA材质作为材质的过滤器因其具有高过滤精度、广化学耐受性以及低溶出在WEC应用点表现优异。
工艺 | 化学式 | 中文名称 | 成分属性 | 优选滤材方案 |
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WEC | NH4OH | 氨水 | 单品 | PTFE+PFA |
WEC | H2O2 | 双氧水 | 单品 | PTFE+PFA |
WEC | HCI | 盐酸 | 单品 | PTFE+PFA |
WEC | HNO3 | 硝酸 | 单品 | PTFE+PFA |
WEC | H2SO4 | 硫酸 | 单品 | PTFE+PFA |
WEC | H2C2O4 | 草酸 | 单品 | PTFE+PFA |
WEC | CH3COOH | 醋酸/乙酸 | 单品 | PTFE+PFA |
WEC | BOE | 缓冲型氧化物刻蚀液 | 混合剂 | PTFE+PFA |