湿法刻蚀有几个关键指标,刻蚀速率,选择比,方向性。针对刻蚀的最终要求,图形转移时的保真度,选择比,均匀性和刻蚀的清洁。
湿法刻蚀的刻蚀剂均为强酸、强碱等具有强腐蚀性的溶液,在选择过滤器时需要严苛验证过滤材质的耐腐蚀性和化学兼容性。
实际应用案例中,以PTFE+PFA材质作为材质的过滤器因其具有高过滤精度、广化学耐受性以及低溶出在WEC应用点表现优异。

工艺化学式中文名称成分属性优选滤材方案
WECNH4OH氨水单品PTFE+PFA
WECH2O2双氧水单品PTFE+PFA
WECHCI盐酸单品PTFE+PFA
WECHNO3硝酸单品PTFE+PFA
WECH2SO4硫酸单品PTFE+PFA
WECH2C2O4草酸单品PTFE+PFA
WECCH3COOH醋酸/乙酸单品PTFE+PFA
WECBOE缓冲型氧化物刻蚀液混合剂PTFE+PFA