湿法刻蚀有几个关键指标，刻蚀速率，选择比，方向性。针对刻蚀的最终要求，图形转移时的保真度，选择比，均匀性和刻蚀的清洁。
湿法刻蚀的刻蚀剂均为强酸、强碱等具有强腐蚀性的溶液，在选择过滤器时需要严苛验证过滤材质的耐腐蚀性和化学兼容性。
实际应用案例中，以PTFE+PFA材质作为材质的过滤器因其具有高过滤精度、广化学耐受性以及低溶出在WEC应用点表现优异。