PROFUNNEL 系列滤芯 Wet Etch and Clean (WEC)
PROFUNNEL™是一款专为半导体制程中稀酸/稀碱过滤设计的高效益过滤器, PES膜具有不对称性，能够更好的提供颗粒截流率，同时具有更大的流量和纳污量，更长的使用寿命。HDPE骨架确保了更低的析出。
PROFUNNEL™是一款专为半导体制程中稀酸/稀碱过滤设计的高效益过滤器, PES膜具有不对称性，能够更好的提供颗粒截流率，同时具有更大的流量和纳污量，更长的使用寿命。HDPE骨架确保了更低的析出。
适用行业: 半导体，平板显示器，数据存储，L ED
适用化学品: 弱酸/碱溶剂
工艺: 湿式蚀刻和清洁，磁头-湿式蚀刻和清洁
安装点: 化学品制造端、大宗化学品供应系统、工艺设备点位
| 分类 | PSNX | PSNH | PSLX | PSLH |
|---|---|---|---|---|
| 滤膜 | 疏水HAPES | 亲水HAPES | 疏水HAPES | 亲水HAPES |
| 骨架 | HDPE | PP | ||
| 外壳（囊式） | HDPE | PP | ||
| 外壳（一体式） | HDPE | PP | ||
| 最高连续使用温度（筒式） | 70℃ | 70℃ | ||
| 最高连续使用温度（囊式） | 38℃ | 38℃ | ||
| 最大工作压差（筒式） | 0.34MPa@25℃ | |||
| 最大使用压力（囊式） | 0.34MPa@25℃ | |||
| 过滤面积 | M0 (φ69mm 0.8㎡/10") | |||
| W0 (φ83mm 1.4㎡/10") | ||||
| W1 (φ83mm 1.7㎡/10") | ||||
