有机溶剂体系专用脱气膜组

在微电子领域中，集成电路，平板显示器的制造过程中，会使用到大量的湿化学品，随着这些化学品的系统中不断的加压减压，会产生大量的微气泡，这些微气泡会对高端的制成工艺带来极大的危害，也是常见的缺陷来源之一。基于这类问题缺陷，Darlly 自主研发的有机溶剂体系专用脱气膜产品，能够有效的去除半导体、FPD制造中各种抗蚀剂、稀释剂、化学制剂等微气泡问题。

e-flow设备专用溶气模组

在精密清洗的半导体产品的过程中，通常用离子几乎不存在的超纯水清洗，这样很容易产生静电。DIW在Darlly自主研发的模组内的中空纤维膜内部流动，其间，从中空纤维膜外侧CO2溶入DIW 内，溶解的二氧化碳在DIW内发生离子化，可使DIW 具有导电性，消除静电。而且通过溶气模组可以很好的控制和调节出水的电阻率。

ECP电镀液脱泡专用脱气膜组

电化学电镀（ECP）是指在芯片制造中，将金属离子电镀到晶圆表面形成金属互连，是一种常见的将金属沉积到晶圆特定区域的工艺，该工艺在半导体行业中有着广泛的应用，包括Cu，Ni，Au等金属的沉积，可以高效的实现高度精确的金属沉积，提高元器件的性能和可靠性。

油墨脱气专用模组

油墨脱气体系中的脱气膜模组采用Darlly的超疏水PTFE制成独特的中空纤维膜结构，具有高通量，高脱气效率的特点，适用于各种墨水中的脱气。