产品应用工艺介绍

在微电子领域中，集成电路，平板显示器的制造过程中，会使用到大量的湿化学品，随着这些化学品的系统中不断的加压减压，会产生大量的微气泡，这些微气泡会对高端的制成工艺带来极大的危害，也是常见的缺陷来源之一。基于这类问题缺陷，Darlly 自主研发的有机溶剂体系专用脱气膜产品，能够有效的去除半导体、FPD制造中各种抗蚀剂、稀释剂、化学制剂等微气泡问题。

Darlly有机溶剂体系专用脱气膜特点

• 优异的疏水性能：针对大部分的湿化学品都是酸，碱，低表面张力的溶剂，Darlly采用拥有“ 塑料王”之称的PTFE为膜丝材料，配合自主开发的成孔技术，保证了该款脱气膜在微电子行业各种湿化学品中的通用性，以及产品优良的使用寿命。
• 优异的化学稳定性：PTFE材质拥有优秀的耐化学稳定性，可以耐受强腐蚀性的化学品侵蚀， 亦不与之发生任何反应，也能耐受住王水、氢氟酸、浓硫酸、氯磺酸、热的浓硫酸、沸腾的苛性钠溶液氯气以及双氧水的作用。

Darlly有机溶剂体系专用脱气膜的应用

• 光刻胶及溶剂脱气：涂胶过程需采用光刻胶，经过脱气处理后的光刻胶可以更好的控制光刻的厚度，均匀性以及硬化程度，降低光刻胶膜的缺陷率。
• 显影液的脱气：在显影工序中，经过脱气处理后的显影可以更好的控制显影精度，把掩膜版图案复刻到光刻胶上。
• 臭氧水的充气：Wet清洗时需要用到臭氧水，因为臭氧的强氧化性，常规的聚合物膜很难耐受，Darlly的PTFE脱气膜材料可以很好的满足超纯水充臭氧的需求。

▎产品规格

脱气效率曲线

压损曲线图

资料