产品应用工艺介绍

在微电子领域中，集成电路，平板显示器的制造过程中，会使用到大量的湿化学品，随着这些化学品的系统中不断的加压减压，会产生大量的微气泡，这些微气泡会对高端的制成工艺带来极大的危害，也是常见的缺陷来源之一。基于这类问题缺陷，Darlly 自主研发的有机溶剂体系专用脱气膜产品，能够有效的去除半导体、FPD制造中各种抗蚀剂、稀释剂、化学制剂等微气泡问题。