ECP电镀液脱泡专用脱气膜组
电化学电镀(ECP)是指在芯片制造中,将金属离子电镀到晶圆表面形成金属互连,是一种常见的将金属沉积到晶圆特定区域的工艺,该工艺在半导体行业中有着广泛的应用,包括Cu,Ni,Au等金属的沉积,可以高效的实现高度精确的金属沉积,提高元器件的...
电化学电镀(ECP)是指在芯片制造中,将金属离子电镀到晶圆表面形成金属互连,是一种常见的将金属沉积到晶圆特定区域的工艺,该工艺在半导体行业中有着广泛的应用,包括Cu,Ni,Au等金属的沉积,可以高效的实现高度精确的金属沉积,提高元器件的性能和可靠性。
ECP工艺具有高效率,高精度,低损伤等优点,在半导体行业中起着巨大的作用,但是该工艺也存在着一些困难,比如ECP工艺对电镀液的要求非常高,想要得到高质量的金属镀层,电镀液的浓度、温度等参数需要必须得到精确的控制,同时,去除电镀液中的气泡也是提高镀层质量,避免最后的镀层中存在着由于气泡而产生的孔洞缺陷。
Darlly自主研发的超疏水性的中空纤维丝组装的脱气膜组,可以很好的去除电镀液中的气泡问题,提升电镀工艺的品质。
规格型号 | DL-4*13 | DL-6*20 |
膜面积 | 7.5 m2 | 25 m2 |
流量范围 | 0-40 L/min | 0-120 L/min |
膜丝材质 | SS(Surface skin) | SS(Surface skin) |
外壳材质 | PP | PP |
液侧接头规格 | 3/4″ NPT | 3/4″ NPT / 1″ NPT |
真空侧接头规格 | 3/4″ NPT | 3/4″ NPT / 1″ NPT |
PH范围 | 1-14 | 1-14 |
工作温度 | 45℃ | 45℃ |