ECP电镀液脱泡专用脱气膜组

ECP电镀液脱泡专用脱气膜组

电化学电镀(ECP)是指在芯片制造中,将金属离子电镀到晶圆表面形成金属互连,是一种常见的将金属沉积到晶圆特定区域的工艺,该工艺在半导体行业中有着广泛的应用,包括Cu,Ni,Au等金属的沉积,可以高效的实现高度精确的金属沉积,提高元器件的...

电化学电镀(ECP)是指在芯片制造中,将金属离子电镀到晶圆表面形成金属互连,是一种常见的将金属沉积到晶圆特定区域的工艺,该工艺在半导体行业中有着广泛的应用,包括Cu,Ni,Au等金属的沉积,可以高效的实现高度精确的金属沉积,提高元器件的性能和可靠性。
ECP工艺具有高效率,高精度,低损伤等优点,在半导体行业中起着巨大的作用,但是该工艺也存在着一些困难,比如ECP工艺对电镀液的要求非常高,想要得到高质量的金属镀层,电镀液的浓度、温度等参数需要必须得到精确的控制,同时,去除电镀液中的气泡也是提高镀层质量,避免最后的镀层中存在着由于气泡而产生的孔洞缺陷。
Darlly自主研发的超疏水性的中空纤维丝组装的脱气膜组,可以很好的去除电镀液中的气泡问题,提升电镀工艺的品质。

▎产品规格


规格型号DL-4*13DL-6*20
膜面积7.5 m225 m2
流量范围0-40 L/min0-120 L/min
膜丝材质SS(Surface skin)SS(Surface skin)
外壳材质PPPP
液侧接头规格3/4″ NPT3/4″ NPT / 1″ NPT
真空侧接头规格3/4″ NPT3/4″ NPT / 1″ NPT
PH范围1-141-14
工作温度45℃45℃

资料

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