e-flow设备专用溶气模组
在精密清洗的半导体产品的过程中,通常用离子几乎不存在的超纯水清洗,这样很容易产生静电。DIW在Darlly自主研发的模组内的中空纤维膜内部流动,其间,从中空纤维膜外侧CO2溶入DIW 内,溶解的二氧化碳在DIW内发生离子化,可使DIW 具有导电性,消...
产品应用工艺介绍
在精密清洗的半导体产品的过程中,通常用离子几乎不存在的超纯水清洗,这样很容易产生静电。
导致发生下述不良品的原因之一:
(1)破坏主板电路
(2)微粒粉尘再次附着
溶气模组原理图:
DIW在Darlly自主研发的模组内的中空纤维膜内部流动,其间,从中空纤维膜外侧CO2溶入DIW 内,溶解的二氧化碳在DIW内发生离子化,可使DIW 具有导电性,消除静电。而且通过溶气模组可以很好的控制和调节出水的电阻率。
规格型号 | DL-2.5*8 | DL-4*10 |
膜面积 | 1.3㎡ | 2.5㎡ |
流量范围 | 0-15L/min | 0-90L/min |
膜丝材质 | PTFE/PMP/PP | PTFE/PMP/PP |
外壳材质 | PP | PP |
液侧接头规格 | 1/4″ NPT | 3/4″ NPT |
真空侧接头规格 | Φ6 Tube | Φ6 Tube |
工作压力 | 0-0.3Mpa | 0-0.3Mpa |
最高工作温度 | 45℃ | 45℃ |