e-flow设备专用溶气模组

e-flow设备专用溶气模组

在精密清洗的半导体产品的过程中,通常用离子几乎不存在的超纯水清洗,这样很容易产生静电。DIW在Darlly自主研发的模组内的中空纤维膜内部流动,其间,从中空纤维膜外侧CO2溶入DIW 内,溶解的二氧化碳在DIW内发生离子化,可使DIW 具有导电性,消...

产品应用工艺介绍

在精密清洗的半导体产品的过程中,通常用离子几乎不存在的超纯水清洗,这样很容易产生静电。

导致发生下述不良品的原因之一:
(1)破坏主板电路
(2)微粒粉尘再次附着

溶气模组原理图:

DIW在Darlly自主研发的模组内的中空纤维膜内部流动,其间,从中空纤维膜外侧CO2溶入DIW 内,溶解的二氧化碳在DIW内发生离子化,可使DIW 具有导电性,消除静电。而且通过溶气模组可以很好的控制和调节出水的电阻率。

▎产品规格


规格型号DL-2.5*8DL-4*10
膜面积1.3㎡2.5㎡
流量范围0-15L/min0-90L/min
膜丝材质PTFE/PMP/PPPTFE/PMP/PP
外壳材质PPPP
液侧接头规格1/4″ NPT3/4″ NPT
真空侧接头规格Φ6 TubeΦ6 Tube
工作压力0-0.3Mpa0-0.3Mpa
最高工作温度45℃45℃

资料

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