半导体电子气体通常分为高纯度大宗气体和电子特气。事实上，对于一个典型的晶圆厂来说，高纯度气体是仅次于硅本身的最大材料支出。随着临界尺寸的下降，半导体器件变得越来越精密。在单个原子的位置很重要的世界中,容错阈值非常严格。因此,现代半导体工艺要求工艺气体具有尽可能高的纯度。

另一方面，由于其精密程度的提升，芯片厂对车间的空气洁净度也提出了更加苛刻的要求，先进的制程工艺中甚至对单个工艺环境都会有单独的空气净化系统。半导体车间的洁净度一般会按照ISO 14644-1的标准进行分类。在最高级别的洁净室中,每立方米空气中的粒径大于0.1微米的微粒数量必须少于10个。

Bulk Gas System