在半导体制程中,消耗量最大的化学品包括电子化学品、大宗气体和纯水,这些化学品从大储存罐到工艺应用点之间需要进行预处理,从而减少工艺应用点前的设备更换频次,提升产效。选择性能优良的过滤设备可以大大降低半导体厂商的生产成本。
化学式 | 中文名称 | 成分属性 | 优选滤材方案 |
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H2O | 超纯水 | 单品 | PES+PP |
H2O2 | 双氧水 | 单品 | PTFE+PFA |
H2SO4 | 硫酸 | 单品 | PTFE+PFA |
NH4OH | 氨水 | 单品 | PTFE+PFA |
TMAH | 氢氧化钾 | 单品 | PTFE+PFA |
OK73 | 四甲基氢氧化氨 | 混合剂 | PTFE+PFA |
HF | 氢氟酸 | 单品 | PTFE+PFA |
HNO3 | 硝酸 | 单品 | PTFE+PFA |
HCI | 盐酸 | 单品 | PTFE+PFA |
H3PO4 | 磷酸 | 单品 | PTFE+PFA |
N2 | 氮气 | 单品 | PTFE+PP |
He | 氦气 | 单品 | PTFE+PP |
O2 | 氧气 | 单品 | PTFE+PP |
Ar | 氩气 | 单品 | |
H2 | 氢气 | 单品 | PTFE+PP |