在半导体制程中,消耗量最大的化学品包括电子化学品、大宗气体和纯水,这些化学品从大储存罐到工艺应用点之间需要进行预处理,从而减少工艺应用点前的设备更换频次,提升产效。选择性能优良的过滤设备可以大大降低半导体厂商的生产成本。

化学式中文名称成分属性优选滤材方案
H2O超纯水单品PES+PP
H2O2双氧水单品PTFE+PFA
H2SO4硫酸单品PTFE+PFA
NH4OH氨水单品PTFE+PFA
TMAH氢氧化钾单品PTFE+PFA
OK73四甲基氢氧化氨混合剂PTFE+PFA
HF氢氟酸单品PTFE+PFA
HNO3硝酸单品PTFE+PFA
HCI盐酸单品PTFE+PFA
H3PO4磷酸单品PTFE+PFA
N2氮气单品PTFE+PP
He氦气单品PTFE+PP
O2氧气单品PTFE+PP
Ar氩气单品
H2氢气单品PTFE+PP
PTFE+PP