在半导体制程中,消耗量最大的化学品包括电子化学品、大宗气体和纯水,这些化学品从大储存罐到工艺应用点之间需要进行预处理,从而减少工艺应用点前的设备更换频次,提升产效。选择性能优良的过滤设备可以大大降低半导体厂商的生产成本。

| 化学式 | 中文名称 | 成分属性 | 优选滤材方案 |
|---|---|---|---|
| H2O | 超纯水 | 单品 | PES+PP |
| H2O2 | 双氧水 | 单品 | PTFE+PFA |
| H2SO4 | 硫酸 | 单品 | PTFE+PFA |
| NH4OH | 氨水 | 单品 | PTFE+PFA |
| TMAH | 氢氧化钾 | 单品 | PTFE+PFA |
| OK73 | 四甲基氢氧化氨 | 混合剂 | PTFE+PFA |
| HF | 氢氟酸 | 单品 | PTFE+PFA |
| HNO3 | 硝酸 | 单品 | PTFE+PFA |
| HCI | 盐酸 | 单品 | PTFE+PFA |
| H3PO4 | 磷酸 | 单品 | PTFE+PFA |
| N2 | 氮气 | 单品 | PTFE+PP |
| He | 氦气 | 单品 | PTFE+PP |
| O2 | 氧气 | 单品 | PTFE+PP |
| Ar | 氩气 | 单品 | |
| H2 | 氢气 | 单品 | PTFE+PP |