CMP Slurry过滤需要考虑最大限度保证符合工艺要求尺寸的研磨颗粒放行,由内到外的梯度孔径滤膜可以很好的解决这一问题。
CMP过滤目的
工艺 | 化学品名 | 中文名称 | 成分属性 | 优选滤材方案 |
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CMP | Slurries | CMP研磨液 | 混合剂 | PP |
CMP | DZ38X | 铜CMP后清洗剂 | 混合剂 | PTFE+PFA |
CMP | EKC5670 | 铜CMP后清洗剂 | 专利配方有机混合剂 | PTFE+PFA |
CMP | ICS7000 | 铜CMP后清洗剂 | 专利配方有机混合剂 | PTFE+PFA |
CMP | CST100 | 柠檬酸 | 专利配方有机混合剂 | PTFE+PFA |
CMP | ESC784 | 铜CMP后清洗剂干刻蚀残留物清洗剂 | 专利配方有机混合剂 | PTFE+PFA |