在半导体制程中，消耗量最大的化学品包括电子化学品、大宗气体和纯水，这些化学品从大储存罐到工艺应用点之间需要进行预处理，从而减少工艺应用点前的设备更换频次，提升产效。选择性能优良的过滤设备可以大大降低半导体厂商的生产成本。