SENJOKIREY 系列滤芯 Wet Etch and Clean (WEC)

SENJOKIREY 系列滤芯 Wet Etch and Clean (WEC)

SENJOKIREY®系列过滤器具有疏水性和亲水性两种高效的PTFE滤材可选,广泛应用于各种高纯度化学品和溶剂过滤,PTFE滤材优异的化学兼容性保证其在不同的酸、碱、溶剂中具有稳定的颗粒去除率。更大的膜面积选型有效提高了流速并延长了滤芯的使用寿命...

SENJOKIREY®系列过滤器具有疏水性和亲水性两种高效的PTFE滤材可选,广泛应用于各种高纯度化学品和溶剂过滤,PTFE滤材优异的化学兼容性保证其在不同的酸、碱、溶剂中具有稳定的颗粒去除率。更大的膜面积选型有效提高了流速并延长了滤芯的使用寿命。提供预润湿选项,可直接上机使用,减少设备停机时间。
ATN系列适用于高温和腐蚀性化学品,如高温硫酸、磷酸、硝酸等,全氟的骨架最大限度地减少金属离子析出及其他污染物。ATL系列亲水化处理的PTFE滤材适用于对“脱湿压泡”效应敏感的使用环境,能大幅降低滤膜在长时间使用期间因为脱湿而牺牲流量的隐患。SPE系列采用HDPE骨架,具备极低的金属离子析出率和其他污染物析出,与大多数较低温度、稀释的化学品兼容。

▎产品特点


  • 广泛的化学兼容性
  • 高通量,长寿命
  • 超低析出

▎应用领域


  • 适用行业:半导体,平板显示器,数据存储,L ED
  • 适用化学品:腐蚀性酸、腐蚀性碱、溶剂
  • 工艺:湿式蚀刻和清洁,磁头-湿式蚀刻和清洁
  • 安装点:化学品制造端、大宗化学品供应系统、工艺设备点位

▎产品规格


分类AllTEF Nature(ATN)PHLICAL(ATL)SEMITEF(SPP)SEMITEF(SPE)
滤膜原生PTFE亲水化PTFE原生PTFE原生PTFE
骨架PFA PPHDPE
外壳(囊式)PFA PPHDPE
外壳(一体式)PFA PPHDPE
最高连续使用温度(筒式)180℃70℃
最高连续使用温度(一体式)180℃-
最大工作压差(筒式)0.49MPa@25℃0.4MPa@25℃
最大使用压力(一体式)0.58MPa@25℃/0.097MPa@180℃-
过滤面积M0 (φ69mm 0.91㎡/10")
M1 (φ69mm 1.21㎡/10")
W0 (φ83mm 1.3㎡/10")
W1 (φ83mm 2.2㎡/10")
W2 (φ83mm 3.0㎡/10")

资料

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