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湿法刻蚀和清洗
湿法刻蚀有几个关键指标,刻蚀速率,选择比,方向性。针对刻蚀的最终要求,图形转移时的保真度,选择比,均匀性和刻蚀的清洁。 湿法刻蚀的刻蚀剂均为强酸、强碱等具有强腐蚀性的溶液,在选择过滤器时需要严苛验证过滤材质的耐腐蚀性和化学兼容性。
机械化学研磨
CMP slurry过滤需要考虑最大限度保证符合工艺要求尺寸的研磨颗粒放行,由内到外的梯度孔径滤膜可以很好的解决这一问题。
电子特气
电子特气(ESG)被称为电子工业的“血液”,许多不同的气体(腐蚀性气体、反应性气体和惰性气体)以不同的流速被输送到处理室,以在用于制造逻辑和存储芯片的硅晶片上产生关键特征。不仅需要以精确的数量和出色的可重复性输送这 些气体,而且还需要严格的纯度水平。
厂务
在半导体制程中,消耗量最大的化学品包括电子化学品、大宗气体和纯水,这些化学品从大储存罐到工艺应用点之间需要进行预处理,从而减少工艺应用点前的设备更换频次,提升产效。
大宗气体
半导体电子气体通常分为高纯度大宗气体和电子特气。事实上,对于一个典型的晶圆厂来说,高纯度气体是仅次于硅本身的最大材料支出。随着临界尺寸的下降,半导体器件变得越来越精密。在单个原子的位置很重要的世界中,容错阈值非常严格。因此,现代半导体工艺要求工艺气体具有尽可能高的纯度。
光刻
光刻工艺中,电子化学品在接触空气的过程中容易产生气泡,因此在光刻工艺段选择匹配的过滤器,除了颗粒和凝胶外,还需要考虑对气泡的过滤。同时为了减少化学品的损耗,也需要考虑到滤材与过滤对象的化学兼容性。
平板显示器
平板显示屏制造商一直面临着一项挑战,即制造更具成本效益的显示屏。TFT-LCD显示屏(薄膜晶体管液晶显示屏)的制造商占全球平板面板市场的80%,他们必须不断推出新制造技术,以实现对于更高像素分辨率的需求。为了应对这些挑战,对于8.5 代和更大尺寸的世代线而言,对制造过程中使用的液体和气体污染控制至关重要。
滤壳系列
PP滤壳是由100%高纯聚丙烯材料制成,耐酸碱溶液,无任何化学物质或着色剂等析出,可与直径69mm和直径83mm的滤芯配套,满足高流量过滤要求。滤芯接口采用222或226双O型圈密封,确保过滤密封性,广泛用于食品、饮料、超纯水及高纯化学品过滤。
SGH系列 – 高纳污PP折叠滤芯
SGH系列折叠滤芯是由多层超细聚丙烯纤维滤膜与进口支撑层组成,超细纤维膜的渐变直径特性,使得滤芯有着深度过滤同时拥有超大的纳污量,层层过滤可以避免过滤层的过快堵塞;分层截留机制对颗粒逐级截留,使得滤芯的寿命大大延长。特别适用于高悬浮颗粒,胶体类及高粘度产品。
SCC系列-一体式折叠滤芯
SCC系列一体成型折叠滤芯是专为RO系统预处理设计,滤膜材质可选深层精细聚丙烯跟玻纤,结合一体成型的内外骨架组件,大大增大了整体的过滤效率、流速、纳污能力,延长了滤芯使用寿命,从而保障了后段设备的输入安全。
HF系列 – 大流量折叠滤芯
HF系列大流量滤芯采用深层精细聚丙烯纤维膜为主过滤层,拥有6"大直径,单向开口,并特别设计了由内到外的液体流向,保证所有颗粒物拦截在滤芯内部,超大流量的设计使得在相同流量场合,减少滤芯和过滤器的使用量,大大节约了设备投入成本,三种工艺多种精度可选,适应不同应用需求。
DLPP系列 – 熔喷滤芯
DLPP系列熔喷滤芯由纯聚丙烯超细纤维热熔缠结制成,不使用任何化学粘合剂,纤维在空间随机粘全形成三维微孔结构,布集表面、深度、精滤于一体,外疏内密渐变孔径的深层过滤结构,纳污能力强,根据制作工艺不同分为光面/毛/桔皮/细纹/切槽五种外观,可根据实际使用情况进行选择,主要应用于颗粒拦截、澄清过滤、保安过滤,具有良好的通透性,是相对比较经济的预过滤芯。
DHF系列 – 大流量折叠滤芯
DHF系列大流量滤芯两端都带可拉式把手,方便从过滤器两端拿取,拥有6"大直径,单向开口,超大流量的设计是在相同流量场合,减少滤芯和过滤器的使用量,大大节约了设备投入成本,并采用深层精细聚丙烯纤维膜为主过滤层,多种工艺多种精度可选,适应不同的应用需求。
Capsule Filters
DLX系列内装式一次使用性囊式过滤器是经济有效的中、小剂量过滤器,不论您的使用目的是消毒过滤、粒子控制、通气、还是预过滤,我们的囊式过滤器都能满足您的需要。
BTH系列 – 疏水PTFE折叠滤芯
BTH系列PTFE折叠滤芯采用聚四氟乙烯(PTFE)滤膜,具有极好的耐化学、腐蚀性能和天然的疏水性,严格控制金属离子析出,适用于大部分化学品、有机溶剂和压缩空气除菌过滤。
BTF耐温耐腐蚀系列全氟滤芯
BTF系列产品采用全氟配件,适用于广泛的酸、碱及其他工艺段化学料液,应用在中高流量要求的场合。 超大的过滤面积高性能滤材为产品提供了极佳的通量和超高的截留性能。全氟的结构设计保证产品的极低析出,极大保证产品的洁净度。
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