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湿法刻蚀和清洗
湿法刻蚀有几个关键指标,刻蚀速率,选择比,方向性。针对刻蚀的最终要求,图形转移时的保真度,选择比,均匀性和刻蚀的清洁。 湿法刻蚀的刻蚀剂均为强酸、强碱等具有强腐蚀性的溶液,在选择过滤器时需要严苛验证过滤材质的耐腐蚀性和化学兼容性。
机械化学研磨
CMP slurry过滤需要考虑最大限度保证符合工艺要求尺寸的研磨颗粒放行,由内到外的梯度孔径滤膜可以很好的解决这一问题。
电子特气
电子特气(ESG)被称为电子工业的“血液”,许多不同的气体(腐蚀性气体、反应性气体和惰性气体)以不同的流速被输送到处理室,以在用于制造逻辑和存储芯片的硅晶片上产生关键特征。不仅需要以精确的数量和出色的可重复性输送这 些气体,而且还需要严格的纯度水平。
厂务
在半导体制程中,消耗量最大的化学品包括电子化学品、大宗气体和纯水,这些化学品从大储存罐到工艺应用点之间需要进行预处理,从而减少工艺应用点前的设备更换频次,提升产效。
大宗气体
半导体电子气体通常分为高纯度大宗气体和电子特气。事实上,对于一个典型的晶圆厂来说,高纯度气体是仅次于硅本身的最大材料支出。随着临界尺寸的下降,半导体器件变得越来越精密。在单个原子的位置很重要的世界中,容错阈值非常严格。因此,现代半导体工艺要求工艺气体具有尽可能高的纯度。
光刻
光刻工艺中,电子化学品在接触空气的过程中容易产生气泡,因此在光刻工艺段选择匹配的过滤器,除了颗粒和凝胶外,还需要考虑对气泡的过滤。同时为了减少化学品的损耗,也需要考虑到滤材与过滤对象的化学兼容性。
平板显示器
平板显示屏制造商一直面临着一项挑战,即制造更具成本效益的显示屏。TFT-LCD显示屏(薄膜晶体管液晶显示屏)的制造商占全球平板面板市场的80%,他们必须不断推出新制造技术,以实现对于更高像素分辨率的需求。为了应对这些挑战,对于8.5 代和更大尺寸的世代线而言,对制造过程中使用的液体和气体污染控制至关重要。
BDH系列 – 亲水PTFE折叠滤芯
BDH系列PTFE折叠滤芯采用的是改性亲水聚四氟乙烯(PTFE)滤膜,具有极高的孔隙率、高通量、长寿命,结合进口导流层,避免使用过程中纤维脱落,滤芯出厂前100%完整性检测 ,确保过滤安全,PTFE滤膜具有极好的耐化学、腐蚀性能,可广泛应用于各行业中强氧化剂、强腐蚀性液体的澄清、除菌过滤。
卫生级不锈钢气体滤壳
卫生级不锈钢气体滤壳适用于从气体中除去颗粒。配合不同滤芯可以应用在高纯气体、高温气体、无菌气体等领域。 ▎产品特点 ▎产品规格 过滤器壳体 304, 316L 排气 304, 316L 卡箍 304 支脚 304 密封圈/垫片 硅橡胶、氟橡胶、三元乙丙橡胶 抛光类型 电解/机械 抛光精度 内壁0.3μm,外壁0.4μm 设计压力 0.6Mpa(6bar)/1.0Mpa(10bar) 最高工作温度 150℃ 筒体连接 快装 / 法兰 进出口 快装 / 法兰 ...
多芯液体卫生级滤壳
多芯液体卫生级滤壳可满足大流量卫生级工况使用,可根据不同的流量配置不同数量和规格的滤芯。产品设计符合卫生级要求,结构无卫生死角,易清洗,排液彻底无残留,内表面精细抛光可达0.3μm,滤芯底座花盘选择可拆卸式,清洗无死角。 ▎产品特点 ▎产品规格 过滤器壳体 304, 316L 液阀/排气 304, 316L 吊环螺栓 304 支脚 304 密封圈/垫片 硅橡胶、氟橡胶、三元乙丙橡胶 抛光类型 电解/机械 抛光精...
单芯液体卫生级滤壳
单芯液体卫生级滤壳设计符合卫生级要求,采用卫生级管件,无死角、易清洗、无残液,水平左右进出口、体积轻巧、拆卸方便,适合中低压环境下小流量的过滤。广泛应用于生命科学、食品饮料等行业。 ▎产品特点 ▎产品规格 过滤器壳体 304, 316L 液阀/排气 304, 316L 卡箍 304 支脚 304 密封圈/垫片 :硅橡胶、氟橡胶、三元乙丙橡胶 抛光类型 电解/机械 抛光精度 内壁0.3μm,外壁0.4μm 设计压力 0.6Mp...
DLPP系列熔喷滤芯-SW系列线绕滤芯
DLPP系列熔喷滤芯 DLPP系列熔喷滤芯以纯聚丙烯为原料,由最新熔喷工艺制成;纤维在空间随机自粘合形成深层梯度三维微孔结构,具有很高的过滤精度及纳污能力,并且具有非常坚硬的机械强度及抗压能力。 ▎产品特点 SW系列线绕滤芯 SW系列线绕滤芯是纺织纤维经过特殊工艺处理后采用电脑控制缠绕技术,以蜂窝状紧紧缠绕在多孔骨架结构上,外疏内密,形成深度过滤,精确三维构造扩大了滤芯内部过滤面...
BSG Series – 玻璃纤维气体滤芯
BSG系列折叠滤芯采用超细玻璃纤维材料制成,滤膜整体具有较高的截留效率,有效地保护了终端除菌滤芯,延长了终端滤芯寿命,适用于气体预处理及精密过滤。
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