平板显示器

平板显示屏制造商一直面临着一项挑战,即制造更具成本效益的显示屏。TFT-LCD显示屏(薄膜晶体管液晶显示屏)的制造商占全球平板面板市场的80%,他们必须不断推出新制造技术,以实现对于更高像素分辨率的需求。为了应对这些挑战,对于8.5 代和更大尺寸的世代线而言,对制造过程中使用的液体和气体污染控制至关重要。

产品系列G4-G5G6G7G8G10
玻璃基板尺寸(mm)730×920
1100×1250
1500×1800
1500×1850
1870×2200
1950×2250
2160×2460
2200×2500
2400×2800
2580×3050
流量(L/min)<100<150<300<500<1000
过滤精度2nm50nm30nm50nm50nm
过滤介质PP/PS/PES/PTFE/N66PP/PS/PES/PTFEPP/PS/PES/PTFEPP/PS/PES/PTFEPP/PS/PES/PTFE