平板显示屏制造商一直面临着一项挑战,即制造更具成本效益的显示屏。TFT-LCD显示屏(薄膜晶体管液晶显示屏)的制造商占全球平板面板市场的80%,他们必须不断推出新制造技术,以实现对于更高像素分辨率的需求。为了应对这些挑战,对于8.5 代和更大尺寸的世代线而言,对制造过程中使用的液体和气体污染控制至关重要。
产品系列 | G4-G5 | G6 | G7 | G8 | G10 |
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玻璃基板尺寸(mm) | 730×920 1100×1250 | 1500×1800 1500×1850 | 1870×2200 1950×2250 | 2160×2460 2200×2500 | 2400×2800 2580×3050 |
流量(L/min) | <100 | <150 | <300 | <500 | <1000 |
过滤精度 | 2nm | 50nm | 30nm | 50nm | 50nm |
过滤介质 | PP/PS/PES/PTFE/N66 | PP/PS/PES/PTFE | PP/PS/PES/PTFE | PP/PS/PES/PTFE | PP/PS/PES/PTFE |