AMC空气分子化学过滤器

AMC空气分子化学过滤器

Darlly平板式化学滤网，可根据客户空间环境及专案需求进行定制，可针对目标气体中的污染物的各种化学特性进行定向滤除。主要应用于FFU与各类高精设备中。

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Darlly平板式化学滤网，可根据客户空间环境及专案需求进行定制，可针对目标气体中的污染物的各种化学特性进行定向滤除。主要应用于FFU与各类高精设备中。

▎产品特点

  • 不对称过滤器布置，进口过滤器采用活性炭，防止TMS和乙酸的形成
  • 在常规洁净室内使用，两年内的除效率可到99%
  • 多种配置可选，可用于多种曝光机、扫描仪等设备

▎应用领域

  • MA、FFU、RCU、Dry Coil、CDA、TOOLS

▎可滤除气体

  • H2S、DMS、Acid、VOC，NH3

▎滤网尺寸

  • 长x宽x深 800x600x200（根据客户要求，任意尺寸可定制）

▎结构材质

框架材质  PP/ABS/铝框/不锈钢框/镀锌铁

Darlly V-type化学滤网，相较于平板式滤网，大幅度增加过滤面积，除了提升过滤效率外，还能同步降低压损，兼顾效率与节能，箱型的外侧可以配合安装框架进行固定，并可搭配法兰滤罩进行多种扩充方式。

▎产品特点

  • 超大过滤面积，提升过滤效率
  • 低压损，延长产品使用寿命
  • 多种配置可选，可用于多种曝光机、扫描仪等设备

▎应用领域

  • MA、FFU、RCU、Dry Coil、TOOLS

▎可滤除气体

  • H2S、DMS、NH3，Acid、VOC，O3

▎滤网尺寸

  • 长x宽x深 800x600x290（根据客户要求，任意尺寸可定制）

▎结构材质

框架材质  铝框/不锈钢框/镀锌铁
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