PSWM系列滤芯利用独特的卷绕设计,能够对精准过滤,高效拦截大颗粒,放行有效颗粒。由外到内的梯度结构,增加了纳污空间,延长滤芯使用寿命。
▎产品特点
- 低析出
- 完全由聚丙烯材料构成,利用热粘合技术,不使用粘合剂,极低的溶出物。
- 梯度过滤结构
- 由外到内的梯度设计,避免了凝结的slurry过快堵塞滤膜表 层,充分利用纳污空间。
- 有效过滤
- 独特的卷绕设计,能够实现对CMP的slurry精准过滤。高效拦截大颗粒,放行有效颗粒。
▎流量曲线
▎结构材质
滤材 | 聚丙烯(PP |
支撑 | 聚丙烯(PP) |
骨架 | 聚丙烯(PP) |
资料